华为投资光刻机领域　成“科益虹源”第七大股东

据陆媒《新浪科技》5日报道，华为旗下的哈勃投资公司开始投资光刻机领域，入股由中科院微电子所控股的北京科益虹源光电技术公司。

报道指，北京科益虹源光电技术公司日前发生了变化，注册资金从1.2亿元（人民币，下同）增加到2.02亿元，增长68%，主要是投资人多了，其中就有华为旗下的哈勃投资，占股4.76%，成为第七大股东。

科益虹源的控股股东是中科院微电子所，持股26.6%，主要业务是光刻机三大核心技术之一的“光源系统”，是内地第一、全球第三的193nm ArF准分子雷射器企业。

科益虹源集成电路光刻光源制造及服务基地项目去年4月份开工，该项目由科益虹源投资建设，总投资5亿元，建筑面积1.2万平方米，年产RS222型光刻准分子激光器、光刻用准分子激光器、405光纤耦合头等各类设备30台。